羅茨真空泵由羅茨鼓風機演變而來，包括高真空多級羅茨泵、中真空羅茨增壓泵和直排大氣的干式羅茨泵，廣泛用于化工、造紙、冶金、薄膜制備、食品等行業，也是IC裝備行業中常用的一種真空泵。國內羅茨真空泵的研究和制造較早，但適合于IC裝備行業嚴格要求的羅茨干泵并不多見，致使該設備長期依賴進口。

鑫鴻偉羅茨真空泵廣泛應用于電子、化工、紡織等行業，根據使用需求的不同，采用不同的真空泵或者多種真空泵的組合來獲得真空，對于被抽真空系統而言，羅茨真空泵的大流量粗真空是優勢所在。

技術實現要素：

為了解決上述問題，本實用新型采用如下技術方案：

一種多級羅茨真空泵，

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包括泵體以及泵體的內腔；

所述內腔被隔板分隔成若干隔腔，相鄰兩所述隔腔通過氣道連通；

所述內腔兩端的隔腔分別為首端隔腔和尾端隔腔；自所述首端隔腔至所述尾端隔腔，若干所述隔腔體積依次減小；

所述首端隔腔設有進氣口，所述尾端隔腔設有出氣口；

所述內腔內設有傳動軸，所述傳動軸上設有風葉，

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每個所述隔腔中均設有風所述傳動軸穿設于所述內腔；所述傳動軸數量為2，分別為主動軸和從動軸，所述主動軸和所述從動軸通過同步齒輪傳動。

，每個隔腔內均設有兩個風葉，且分別設置在主動軸和從動軸。同一隔腔內的兩個風葉相互嚙合；所述主動軸和從動軸相互平行。

優選的，所述泵體一端設有傳動元件，所述同步齒輪位于所述傳動元件中；所述主動軸和從動軸一端伸出所述內腔后到連接于所述同步齒輪。，所述主動軸遠離所述同步齒輪的一端伸出所述內腔后連接于驅動組件。

，所述傳動軸從所述內腔的端壁伸出；所述傳動軸與所述內腔的端壁之間設有密封組件。，所述泵體還設有冷卻通道；所述冷卻通道位于所述內腔外側。，所述氣道位于所述內腔外側，所述氣道能與所述冷卻通道進行熱交換；所述氣道與隔腔連通設有回氣通道。

，所述回氣通道與所述冷卻通道連接部為第一連接口，所述回氣通道與所述內腔連接部為第二連接口；所述第一連接口位于所述第二連接口和所述尾端隔腔之間。

本實用新型的有益效果是：

1.使用時，提高了極限真空，直接將被抽氣體排入大氣環境；

2.不易發熱，更好的冷卻；

3.無需用油來密封泵，解決了返油的風險；

4.結構更加合理，便于生產加工。